聚合物材料研究新颖方法

【期数】：1996年03期

【作者】：容敏智

【摘要】： 第3届国际材联亚洲国际会议于1995年10月17—20日在韩国汉城召开,有300余人参加会议。大会有两个特邀报告,即日本Tohoku大学Tadahiro Ohmi教授的"准确控制离子流量和能量的先进等离子加工",以及韩国现代电子工业公司Kye—Hwan Oh博士的"硅现代地位与展望"。各分会场宣读的论文121篇,分为4个专题:①功能材料;②结构材料;③聚合物材料;④材料表征;⑤半导体先进材料,其中又细分为蚀刻和清除,敷金属法,介电材