实验技术促进椭偏光谱研究与应用

【期数】：1998年04期

【作者】：陈良尧

【摘要】： 第2届国际椭圆偏振光谱会议于1997年5月12日至15日在美国南卡罗来纳州查尔斯敦市召开,有20多个国家的200多位代表参加会议。国际凝聚态物理领域的学术会议大致可分为三类:一类像美国的三月会议,参加的人很多,内容和方向也较为分散;第二类是针对某些专门的研究领域,如半导体和表面物理会议等;第三类涉及不同的学科和研究领域,却被共同的科学方法联系在一起,如喇曼和椭偏光谱会议等。这次会议属第三类,内容涉及半导体介电函数和能带结构的椭偏光谱学研究,高速椭偏光谱学,高空间分辨率椭偏光谱学,椭偏光谱学中的数据分析,椭偏光谱学在微电子材料分析中的应用,连续梯度和各向异性材料的椭偏光谱学研究,偏振光学研究,非一般光学的椭偏光谱学,表面光谱,理论和实验,椭偏光谱学在半导体工艺的实时控制方面的应用,实时椭偏光谱