纳米晶/微晶半导体材料研究引人注目

【期数】：1998年02期

【作者】：陈坤基

【摘要】： 第17届国际非晶、微晶半导体会议(ICAMS-17)于1997年8月25日至29日在匈牙利首都布达佩斯举行,有来自世界35个国家和地区的380名代表出席。会议收到论文650余篇,录取355篇,将发表在国际学术榜刊物《J.of Noncrystalline Solids》的专刊上。这届会议首次把非晶半导体研究领域扩展到微晶、多晶半导体范畴,内容包括无序系统中的基本物理现象、非晶、纳米晶/微晶薄膜材料制备技术、材料特性和器件应用等方面的10个专题:①薄膜生长动力学和氢的作用;②掺杂和缺陷;③表面、界面和多层膜;④非晶、微晶硅中的输运性质;⑤非晶硅薄膜光电导和光致亚稳特性;⑥光致和电致发光;⑦微晶硅及其合金;⑨非晶碳、类金刚石薄膜和硫硒玻璃;⑨太阳电池、传感器;⑩薄膜晶体管与平板液晶显示。另外组织了题为"激光晶化"和"表面微化学反应"的专题讨论。