微材料微系统与微力学密切相关

【期数】：1998年01期

【作者】：余寿文

【摘要】： 微材料国际会议(Micro-Mar’97)于1997年4月16日至18日在德国柏林召开。会议有来自30个国家和地区的414位代表参加,在会上发表论文279篇,并出版论文全集,部分论文将选刊于微工程国际杂志。会议还组织了有22家公司与研究所参加的微电子封装、微利料、微系统、微力学的试验机、测试设备与技术的展览。大会报告的主要内容可概括为以下几个方面:①金属—陶瓷的连接技术;②微电子封装的近代进展;③微电子封装的胶接与连接;④微电子封裟的材料科学与工程;⑤电致失效、微结构与可靠性;⑥微电子封装与微集成的微力学;⑦微机—电系统加工的LIGA工艺;⑧纳米材料的结构与性质;⑨化学气相沉积制造金刚石膜,薄膜与厚膜的应用;⑩表面微机械加工的材料与技术。