等离子体研究和应用

【期数】：1997年04期

【作者】：杜元成

【摘要】： 第3届亚太地区等离子体科学和技术会议(APCPST’96)于1996年7月15日至17日在日本东京大学举行。与会代表180余人,交流论文100余篇。会议内容包括有机材料,无机材料,合成,材料改性,等离子体模型与仿真,以及等离子体诊断和热等离子体等诸多方面。大会讨论的主要问题有:①和应用有密切相关的等离子体反应中生长动力学问题;②碳基材料——新型薄膜材料:氮化碳薄膜的等离子体制备;③制备超大规模集成电路中,包含的等离子体技术。