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  • 刊名: 国际学术动态

    主办单位:  华中科技大学

    出版周期:  双月

    出版地:湖北省武汉市

    语种:  中文

    开本:  大16开

    创刊时间:  1983

    低维结构研究具有巨大的效益

    【期数】:2000年03期

    【作者】:

    【摘要】: 半导体器件从诞生以来,就以其体积小、重量轻、性能好等优点,逐渐取代电子管而促进了电子工业的发展。随着半导体材料和器件制作技术的发展,特别是外延生长技术、集成技术、微细加工技术的发展,半导体器件进一步小型化、集成化、薄膜化。以GaAs为主的Ⅲ~Ⅴ族化合物半导体异质结器件的发展,为半导体材料和器件制作的进一步发展和超晶格等