光刻工艺:微电子技术的关键

【期数】：1999年05期

【作者】：

【摘要】： 微电子技术是衡量一个国家电子工业水平的标志之一,它的发展极大地影响着科学技术的各个领域。现在,这一技术的发展已进入超大规模集成电路研制的阶段,要求在每个芯片上集成10亿个元件,图形线条宽度在0.35μm以下。集成电路主要依靠精细加工技术,而