刊名: 国际学术动态
主办单位: 华中科技大学
出版周期: 双月
出版地:湖北省武汉市
语种: 中文
开本: 大16开
创刊时间: 1983
【期数】:1999年05期
【作者】:柳百新
【摘要】: 笔者参加了1998年11月4~7日在美国德州Denton市的北德州大学举行的第15届加速器在研究和工业中的应用国际会议,并在离子注入分会上作了题为"强流金属离子注入合成导电性金属硅化物"的邀请报告。众所周知,1985年美国学者,加州大学的Prof.I.Brown发明了金属蒸汽真空弧离子源(简称MEVVA源)。它能提供几乎所有的金属离子,